[实用新型]一种多级式气体输送装置

摘要

本实用新型公开了一种多级式气体输送装置，包括输送主气体的罗茨泵和存放掺杂气体的钢瓶，第一出气管路和第二出气管路之间设置有直线形的液压回路，液压回路包括串联连接的第一油缸和第二油缸，第一出气管路的侧壁设置有柔性囊膜，柔性囊膜连接有第一活塞，第一活塞位于第一油缸内，第二出气管路的侧壁设置有中空限流柱，中空限流柱通过密封圈与第二出气管路活动相接，中空限流柱内活动设置有第二活塞，第二活塞与中空限流柱的内壁密封接触，第二活塞的另一端同时位于第二油缸内，中空限流柱与第二活塞之间设置有复位弹簧。本实用新型能够改进现有技术的不足，在保证气体混合精度的前提下简化了相关的调节结构。

主权项

一种多级式气体输送装置，包括输送主气体的罗茨泵（1）和存放掺杂气体的钢瓶（2），罗茨泵（1）连接有输气管路（3），其特征在于：所述罗茨泵（1）的第一出气管路（4）与钢瓶（2）的第二出气管路（5）平行设置，第一出气管路（4）和第二出气管路（5）之间设置有直线形的液压回路，液压回路包括串联连接的第一油缸（6）和第二油缸（7），第一油缸（6）的内径大于第二油缸（7）的内径，第一出气管路（4）的侧壁设置有柔性囊膜（8），柔性囊膜（8）连接有第一活塞（9），第一活塞（9）位于第一油缸（6）内，第二出气管路（5）的侧壁设置有中空限流柱（10），中空限流柱（10）通过密封圈（11）与第二出气管路（5）活动相接，中空限流柱（10）内活动设置有第二活塞（12），第二活塞（12）与中空限流柱（10）的内壁密封接触，第二活塞（12）的另一端同时位于第二油缸（7）内，中空限流柱（10）与第二活塞（12）之间设置有复位弹簧（13）。