[实用新型]一种激光干涉探头

摘要

本实用新型涉及激光测量领域，公开了一种激光干涉探头，包括耦合单元、两路干涉光探测器和干涉单元；干涉单元包括一具有NPBS膜的双斜方棱镜和探测反射面；双斜方棱镜的粘合面镀NPBS膜面，与该NPBS膜面平行的两侧面均为高反射面，两高反射面之间的侧面分别为入射面和出射面；耦合单元包括至少三个端口，端口一为入射端，端口二通过一准直器与双斜方棱镜的入射面连接；端口三与第二干涉光探测器连接；第一干涉光探测器设于双斜方棱镜入射面下方的干涉光出射面上。通过采用具有NPBS膜的双斜方棱镜和球关节结构，减少光学元件的使用，降低了调试难度，且结构简单紧凑，尺寸小巧、成本低廉；可实现单波长或双波长的位移测量和角度抖动状态检测，测量精度高。

主权项

一种激光干涉探头，包括耦合单元、两路干涉光探测器和干涉单元，其特征在于：所述干涉单元包括一具有NPBS膜的双斜方棱镜和探测反射面；所述双斜方棱镜的粘合面镀NPBS膜，与该NPBS膜面平行的两侧面均为高反射面，两高反射面之间的侧面分别为入射面和出射面；所述耦合单元包括至少三个端口，端口一为入射端，端口二通过一准直器与双斜方棱镜的入射面连接；端口三与第二干涉光探测器连接；所述第一干涉光探测器设于双斜方棱镜入射面下方的干涉光出射面上；入射光经耦合单元的端口一入射之后，由端口二输出并经准直器准直入射到双斜方棱镜的NPBS膜面，经NPBS膜面分成透射光和反射光,分别入射到探测反射面后反射回NPBS膜面分成两路干涉光，一路沿准直器返回耦合单元并经端口三入射到第二干涉光探测器，一路直接入射到第一干涉光探测器。