[实用新型]一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置

摘要

一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置，包括晶圆、激光、激光保护板和底光、对中台、校正玻璃板、十字薄膜、相机保护板、工业相机、电脑显示屏、ROBOT搬运手，工业相机安装在对中台上方，激光安装在对中台下方，激光保护板安装在激光和对中台之间，相机保护板安装在工业相机和对中台之间，ROBOT搬运手安装在对中台前方，电脑显示屏放置在对中台外侧，十字薄膜粘贴在电脑显示屏上，晶圆和校正玻璃板分别放置在对中台上。激光在校正玻璃板的涂黑上刻划十字，工业相机捕捉十字的图像，计算工业相机与激光之间的偏差，送激光，校正激光与相机之间的系统偏差。目测电脑屏幕上十字薄膜和校正玻璃板图像这两个十字，直观地观测补偿效果。

主权项

一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置，该装置包括晶圆、激光、激光保护板和底光、对中台、校正玻璃板、十字薄膜、相机保护板、工业相机、电脑显示屏、ROBOT搬运手，其中校正玻璃板正面贴黑色即时贴，中间开窗标示涂黑位置，手工在底面45度涂满单层黑色，十字薄膜为打印有十字对中线的薄膜，其特征是：工业相机安装在对中台上方，激光安装在对中台下方，激光保护板和底光安装在激光和对中台之间，相机保护板安装在工业相机和对中台之间，ROBOT搬运手安装在对中台前方，电脑显示屏放置在对中台外侧，十字薄膜粘贴在电脑显示屏上，晶圆和校正玻璃板分别放置在对中台上。