[实用新型]一种氦气回收提纯装置

摘要

本实用新型提供一种氦气回收提纯装置，该装置包括：过滤器；化学吸附装置；组分分析装置；加气罐；加热器；催化系统；冷却器；第一净化系统；粗氦冷却器；精馏塔塔；第二净化系统；以及氦气储罐。采用本实用新型的氦气回收提纯装置，能够用于回收含有氦气的工业废气，将氦气的纯度提高，也可以深入提纯得到纯氦、高纯氦和超纯氦产品。相对于现有技术，采用本实用新型的氦气回收提纯装置具有成本较低、环保高效且适用范围较广的优点。

主权项

一种氦气回收提纯装置，其特征在于，依次包括：对粗氦气进行过滤去除油和粉尘等颗粒杂质的过滤器；对粗氦气进行化学吸附的装置；对过滤后的粗氦气中所有组分进行分析的组分分析装置；用于向过滤后的粗氦气中添加氧气的加气罐；对粗氦气进行加热的加热器；对加热后的粗氦气进行催化使其中的一氧化碳、烃类、氢气等杂质与氧气发生氧化还原反应的催化系统；用于将经过催化后的粗氦气进行冷却的冷却器；用于将冷却后的粗氦气进行低温干燥和吸附处理的第一净化系统；用于对经过净化的粗氦气进行冷却的粗氦冷却器；用于对冷却后的粗氦气进行低温精馏的精馏塔；用于对经过液氮洗的粗氦气再次进行低温吸附的第二净化系统；用于储存所述第二净化系统输出的氦气产品的氦气储罐。