[实用新型]成像窗口有效
申请号: | 201420468643.4 | 申请日: | 2014-08-19 |
公开(公告)号: | CN204087839U | 公开(公告)日: | 2015-01-07 |
发明(设计)人: | 王晟 | 申请(专利权)人: | 上海纳腾仪器有限公司 |
主分类号: | G21K7/00 | 分类号: | G21K7/00 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人: | 沈履君 |
地址: | 201616 上海市松江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型成像窗口,包括:衬底,在所述衬底上镀有氮化硅膜;所述氮化硅膜的形状和尺寸与所述衬底的形状和尺寸相同;通孔,多个所述通孔贯穿设置在所述氮化硅膜上;沟槽,所述沟槽设置在所述衬底上,所述沟槽贯穿所述衬底;其中所述沟槽为一倒置的正四棱台空穴结构,底面开口位于所述衬底上部、顶面开口位于所述衬底下部;所述沟槽的顶面的位置与多个所述通孔的位置相对应。本实用新型成像窗口使创口具有高亲水性,成为生物和湿细胞的理想承载体,可以实现TEM、SEM、AFM、XPS、EDX的同一区域的交叉配对表征。同时,在高透射率基础上,获得超大视野范围。 | ||
搜索关键词: | 成像 窗口 | ||
【主权项】:
成像窗口,其特征在于,包括:衬底,在所述衬底上镀有氮化硅膜;所述氮化硅膜的形状和尺寸与所述衬底的形状和尺寸相同;通孔,多个所述通孔贯穿设置在所述氮化硅膜上;沟槽,所述沟槽设置在所述衬底上,所述沟槽贯穿所述衬底;其中所述沟槽为一倒置的正四棱台空穴结构,底面开口位于所述衬底上部、顶面开口位于所述衬底下部;所述沟槽的顶面的位置与多个所述通孔的位置相对应。
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