[实用新型]一种液体供应系统有效
申请号: | 201420470070.9 | 申请日: | 2014-08-20 |
公开(公告)号: | CN204007056U | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 董明;肖方 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | F26B21/14 | 分类号: | F26B21/14 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种液体供应系统,所述液体供应系统包含第一连通管、第二连通管、第一开关阀、第二开关阀、供应槽、补给槽、第一供液管、第二供液管、传感器控制阀、浮球控制阀、氮气管、支管、第一传感器和第二传感器。所述液体供应系统中设有两根供液管,保证了即使有一个控制阀出现异常时,仍能为补给槽及时补充液体;所述液体供应系统中设置相互连通的供应槽和补给槽,且将设有传感器的支管设置于的补给槽一侧,供应槽内通入氮气时,不会对传感器造成影响;所述液体供应系统中设有两个缓冲槽,可以同时为供应槽和补给槽内的液体进行加热,确保补给槽内的液体进入供应槽之前已经达到了需要的温度,大大节省了时间,提高了工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 液体 供应 系统 | ||
【主权项】:
一种液体供应系统,其特征在于,至少包含:第一连通管、第二连通管、第一开关阀、第二开关阀、供应槽、补给槽、第一供液管、传感器控制阀、氮气管、支管、第一传感器和第二传感器;其中,所述补给槽上部通过所述第一连通管与所述供应槽上部相连通,所述补给槽底部通过所述第二连通管与所述供应槽底部相连通;所述第一连通管和所述第二连通管上分别设有所述第一开关阀和所述第二开关阀;所述第一供液管位于所述补给槽的上方;所述第一供液管靠近所述补给槽的一端设有所述传感器控制阀;所述氮气管的一端置于所述供应槽内部上方;所述支管两端分别连接于所述补给槽中液面的上部和所述补给槽的下部;且所述支管内自下而上依次设置有所述第一传感器和所述第二传感器,所述第一传感器和所述第二传感器均与所述传感器控制阀电连接。
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