[实用新型]防转硅片脱胶防倒塌插片挡板有效
申请号: | 201420472206.X | 申请日: | 2014-08-20 |
公开(公告)号: | CN204123543U | 公开(公告)日: | 2015-01-28 |
发明(设计)人: | 谈军;王庆峰;陈远峰 | 申请(专利权)人: | 国电兆晶光电科技江苏有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种防转硅片脱胶防倒塌插片挡板,在挡板本体的插入端开有插杆槽,在挡板本体的限位端开有进口槽、进程槽和定位槽,在定位槽的顶端设有与定位杆配合的开口防转轴肩。由于在挡板本体的定位槽上端设有开口防转轴肩,开口防转轴肩上的配合圆弧面就搁置在定位杆,由于轴肩的轴向长度较大,这样挡板本体沿硅片坍塌方向的自由度被消除,在硅片脱胶时,只要将本防转硅片脱胶防倒塌插片挡板插挂在两根定位杆上,使硅片组间隔分开就能对所限定的硅片段进行可靠的限位,阻止硅片的倾倒坍塌,从而降低硅片因坍塌而破损,提高硅片的脱胶合格率。 | ||
搜索关键词: | 硅片 脱胶 倒塌 挡板 | ||
【主权项】:
一种防转硅片脱胶防倒塌插片挡板,包括挡板本体(1),在挡板本体(1)的插入端设有插杆槽(11),在挡板本体(1)的限位端设有进口槽(12)、进程槽(13)和定位槽(14),其特征是:在定位槽(14)的顶端设有与定位杆(2)配合的开口防转轴肩(15)。
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