[实用新型]一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置及光刻投影镜头有效
| 申请号： | 201420474110.7 | 申请日： | 2014-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN204009187U | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 劳克特夫·米歇尔 | 申请（专利权）人： | 邢台先腾光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 054001 河北省邢台市中兴东大街1889*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置及光刻投影镜头，该装置包括圆环形的本体，所述本体的内侧面设有用于放置镜片的第一凸台，所述第一凸台为圆环形凸台，所述第一凸台的上表面支撑所述镜片下表面的周边位置，所述本体内侧面上还设置有第二凸台，所述第二凸台设置在所述第一凸台上方，所述第一凸台的外径等于所述第二凸台的内径，所述本体的端面上设有用于将相邻两个本体连成一体的连接部。本实用新型的用于固定光刻投影镜头中镜片的装置结构简单，制造成本较低，且在装配过程中便于调整倾斜度和镜片玻璃的位置，因此更实用并有助于光刻投影镜头的推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 固定 光刻 投影 镜头 镜片 装置 | ||
【主权项】：
一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置，其特征在于：包括圆环形的本体(1)，所述本体(1)的内侧面设有用于放置镜片(8)的第一凸台(2)，所述第一凸台(2)为圆环形凸台，所述第一凸台(2)的上表面支撑所述镜片(8)下表面的周边位置，所述本体(1)内侧面上还设置有第二凸台(6)，所述第二凸台(6)设置在所述第一凸台(2)上方，所述第一凸台(2)的外径等于所述第二凸台(6)的内径，所述本体(1)的端面上设有用于将相邻两个本体(1)连成一体的连接部。
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