[实用新型]磁传感器有效

专利信息
申请号: 201420478035.1 申请日: 2014-08-22
公开(公告)号: CN204009026U 公开(公告)日: 2014-12-10
发明(设计)人: 山下昌哉;山县曜;四竈格久;御子柴宪彦;片桐洋次;田中健;渡边佳彦;石田一裕 申请(专利权)人: 旭化成微电子株式会社
主分类号: G01R33/09 分类号: G01R33/09
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 实用新型涉及一种至少对与衬底垂直的磁场和平行的磁场进行混合而能够在可分离的状态下检测各磁场分量的磁传感器。该传感器具备与衬底(355)平行并且呈锯齿状排列的N个聚磁板(351),N为大于或等于12的整数,并且相邻的两个聚磁板(351)在长度方向上相互错开;沿各聚磁板(351)的长度方向并行设置有M个磁阻元件(352),M为大于或等于2的整数,并且各磁阻元件(352)的钉扎层(352-1)与自由层(352-2)经由布线(353)实现相互电连接,沿排列方向的布线(353-1)与沿长度方向的布线(353-2)经由通孔(353-3)实现相互电连接。
搜索关键词: 传感器
【主权项】:
一种磁传感器,具备与衬底(355)平行并且沿水平方向呈锯齿状排列的N个聚磁板(351),并且在排列方向上相邻的两个所述聚磁板(351)在长度方向上相互错开,其特征在于:所述N为大于或等于12的整数;以及沿各所述聚磁板(351)的长度方向并行设置有M个磁阻元件(352),所述M为大于或等于2的整数,并且所述磁阻元件(352)的钉扎层(352‑1)与自由层(352‑2)经由布线(353)实现相互电连接,沿所述排列方向的所述布线(353‑1)与沿所述长度方向的所述布线(353‑2)经由通孔(353‑3)实现相互电连接。
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