[实用新型]防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架

摘要

本实用新型涉及一种防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架，它包括条形的托架本体（1），托架本体（1）的前后两端设置有支撑座（2），支撑座（2）包括两个向外的台阶型的支撑脚（2.1），前后两个支撑座（2）的底部均设置有防翻支架（3），所述防翻支架（3）包括底部的横段（3.1），横段（3.1）的内端向上设置有台阶支撑段，台阶支撑段包括一个内竖段（3.2）以及一个上横段（3.3），横段（3.1）的外端向上设置有外竖段（3.4），外竖段（3.4）的顶部设置有斜向外上方的斜段（3.5）。本实用新型防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架可以避免在移动和操作过程中的不规范导致砸舟，消除安全隐患。

主权项

一种防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架，它包括条形的托架本体（1），托架本体（1）的前后两端设置有支撑座（2），支撑座（2）包括两个向外的台阶型的支撑脚（2.1），其特征在于前后两个支撑座（2）的底部均设置有防翻支架（3），所述防翻支架（3）包括底部的横段（3.1），横段（3.1）的内端向上设置有台阶支撑段，台阶支撑段包括一个内竖段（3.2）以及一个上横段（3.3），横段（3.1）的外端向上设置有外竖段（3.4），外竖段（3.4）的顶部设置有斜向外上方的斜段（3.5），其中台阶支撑段通过螺栓（4）固定于支撑座（2）的底部，横段（3.1）位于支撑脚（2.1）的底部，横段（3.1）的外端伸出支撑脚（2.1）的外侧。