[实用新型]适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置有效
| 申请号： | 201420479170.8 | 申请日： | 2014-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN204178122U | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 代毓平;代童庆 | 申请（专利权）人： | 深圳市大川光电设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 王丹凤 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置，包括装置本体、控制组件、菲林、多孔材料介质层、玻璃板，工件放置在所述多孔材料介质层的上表面，在多孔材料介质层的下部设置有平台，所述平台与空气泵相连，在玻璃板上部设置有第一驱动机构，所述菲林贴附在该玻璃板下表面，在所述平台下部设置有第二驱动机构，所述的多孔材料介质层上开设有若干分布均匀贯穿于上下两端面的细微小孔，通过对所述平台的充气使其在所述多孔材料介质层表面形成均匀的气浮压力，迫使所述工件与菲林紧密贴合。该密着装置形成气浮正压力的时间较形成真空负压时间缩短数倍，能显著提高生产效率，工件与菲林贴合的正压力可以无限制增大。 | ||
| 搜索关键词： | 适合 影像 转移 曝光 工件 着装 | ||
【主权项】：
适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置，其特征在于：包括装置本体、容置于所述装置本体中的控制组件、菲林、多孔材料介质层、装设于所述装置本体上的玻璃板，工件放置在所述多孔材料介质层的上表面，在多孔材料介质层的下部设置有与所述多孔材料介质层紧密贴合的平台，所述平台与空气泵相连，在玻璃板上部设置有第一驱动机构，所述菲林贴附在该玻璃板下表面，所述平台与空气泵相连，在所述平台下部设置有调整所述工件与菲林之间距离和平行度的第二驱动机构，所述菲林贴附在该玻璃板下表面，所述的多孔材料介质层上开设有若干分布均匀贯穿于上下两端面的细微小孔，通过对所述平台的充气使其在所述多孔材料介质层表面形成均匀的气浮压力，迫使所述工件与菲林紧密贴合。
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