[实用新型]多晶硅铸锭炉漏硅监测及防护装置

摘要

本实用新型涉及多晶硅铸锭炉，旨在提供多晶硅铸锭炉漏硅监测及防护装置。该多晶硅铸锭炉漏硅监测及防护装置包括溢流丝、密封组件、莫来石罩组件、垫高块组件、莫来石和PLC模块；垫高块组件设在石墨柱的下部外侧，石墨柱与垫高块组件之间装有莫来石，多晶炉的炉体底部抽气口上设有莫来石罩组件，抽气口与莫来石罩组件之间装有莫来石，垫高块组件和莫来石罩组件四周都铺有莫来石；石棉层的上部铺有溢流丝，溢流丝通过两个密封组件与设置在多晶炉炉体外部的PLC模块连接。本实用新型在生产过程中发生少量漏硅现象时，能第一时间触发报警，在大量漏硅的情况下，也能保护关键部位难以被高温硅液熔穿，避免灾难性事故发生。

主权项

多晶硅铸锭炉漏硅监测及防护装置，多晶炉的炉体底部设有三个石墨柱安装孔，三根石墨柱安装在石墨柱安装孔上，石墨柱的上方设有保温板，保温板四周开有溢流孔，多晶炉的炉体底部铺有石棉层，其特征在于，所述多晶硅铸锭炉漏硅监测及防护装置包括溢流丝、密封组件、莫来石罩组件、垫高块组件、莫来石和PLC模块；垫高块组件设在石墨柱的下部外侧，石墨柱与垫高块组件之间装有莫来石，多晶炉的炉体底部抽气口上设有莫来石罩组件，抽气口与莫来石罩组件之间装有莫来石，垫高块组件和莫来石罩组件四周都铺有莫来石；石棉层的上部铺有溢流丝，溢流丝通过两个密封组件与设置在多晶炉炉体外部的PLC模块连接；所述密封组件用于保证溢流丝进出炉体时与炉体不导通，并且保证多晶炉的炉体整体密封；所述垫高块组件用于保护石墨柱在漏硅时不易被熔穿；所述莫来石罩组件用于保护抽气口在漏硅时不易被熔穿；所述PLC模块通过导线与溢流丝连通，当溢流丝回路熔断时能产生一个信号，反馈给PLC模块，根据PLC内部事先设定的程序触发报警，并自动进入多晶炉自带程序中的紧急冷却模式。