[实用新型]一种多晶硅铸锭炉中的提纯装置有效
申请号: | 201420488242.5 | 申请日: | 2014-08-27 |
公开(公告)号: | CN204022997U | 公开(公告)日: | 2014-12-17 |
发明(设计)人: | 黄贤强;何建军;沈达军;杨红伟;张志杰;付龙;肖余琴 | 申请(专利权)人: | 浙江溢闳光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(普通合伙) 33243 | 代理人: | 张向飞 |
地址: | 314302 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉中的提纯装置,属于机械技术领域。它解决了现有技术中在生产制造多晶硅铸锭过程中不能够实现提纯等问题。本多晶硅铸锭炉中的提纯装置,包括密闭的炉体,炉体内固定有用于溶解多晶硅铸锭的坩埚,炉体与坩埚之间形成空腔,坩埚内设有能够测量坩埚内液体温度的温度计,空腔内设有能够测量空腔内空气压力的压力计,炉体的侧壁上开设有通气孔一,坩埚的侧壁上开设有通气孔二,通气孔一的一端与通气孔二之间通过连接管密封相连,通气孔一的另一端还通过真空管与一真空泵相连,所述的真空管上设有一能够防止杂质回流至连接管上的防倒吸装置。本实用新型能够实现多晶硅铸锭的提纯。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 中的 提纯 装置 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉中的提纯装置,包括密闭的炉体,其特征在于,所述的炉体内固定有用于溶解多晶硅铸锭的坩埚,炉体与坩埚之间形成空腔,所述的坩埚内设有能够测量坩埚内液体温度的温度计,所述的空腔内设有能够测量空腔内空气压力的压力计,所述的炉体的侧壁上开设有通气孔一,所述的坩埚的侧壁上开设有通气孔二,通气孔一的一端与通气孔二之间通过连接管密封相连,通气孔一的另一端还通过真空管与一真空泵相连,所述的真空管上设有一能够防止杂质回流至连接管上的防倒吸装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江溢闳光电科技有限公司,未经浙江溢闳光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201420488242.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:软性电路板焊垫区的抗损耗接地图型结构
- 下一篇:改型灯