[实用新型]一种利用三氯氢硅制备颗粒多晶硅的系统有效
| 申请号： | 201420490370.3 | 申请日： | 2014-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN204057974U | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 谭德军 | 申请（专利权）人： | 谭德军 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 430015 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种利用三氯氢硅制备颗粒多晶硅的系统，其特征在于，所述系统包括：三氯氢硅歧化塔，利用催化剂使通入的三氯氢硅发生两步歧化反应，生成二氯二氢硅、硅烷；再通过精馏提纯将所述二氯二氢硅、所述硅烷和所述四氯化硅进行分离；硅烷分离器，和所述三氯氢硅歧化塔连接，接收所述二氯二氢硅和所述硅烷，并通过精馏分离将所述二氯二氢硅和所述硅烷进行分离；硅烷流化床反应器，和所述硅烷分离器连接，接收所述硅烷，为所述硅烷和外界通入的氢气提供反应空间进行反应，以获得所述颗粒多晶硅。本实用新型制备的颗粒多晶硅产品的纯度可以作为太阳能级多晶硅，制备的产品纯度高，制备工艺简单，并且能耗低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 三氯氢硅 制备 颗粒 多晶 系统 | ||
【主权项】：
一种利用三氯氢硅制备颗粒多晶硅的系统，其特征在于，所述系统包括： 三氯氢硅歧化塔，利用催化剂使通入的三氯氢硅发生两步歧化反应，生成二氯二氢硅、硅烷；再通过精馏提纯将所述二氯二氢硅、所述硅烷和所述四氯化硅进行分离； 硅烷分离器，和所述三氯氢硅歧化塔连接，接收所述二氯二氢硅和所述硅烷，并通过精馏分离将所述二氯二氢硅和所述硅烷进行分离； 硅烷流化床反应器，和所述硅烷分离器连接，接收所述硅烷，为所述硅烷和外界通入的氢气提供反应空间进行反应，以获得所述颗粒多晶硅。
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