[实用新型]一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具有效
| 申请号： | 201420491373.9 | 申请日： | 2014-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN204148160U | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 吴跃峰;苗立刚 | 申请（专利权）人： | 洛阳单晶硅集团有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B5/04;B08B7/04;B08B15/04 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型所述的一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，适用于在单晶硅硅片施加背风片的工艺过程中清除沉积在排气罩上的二氧化硅挥发物，所述的除尘工具主要由加长扁管（1）、毛刷头（2）、刷毛（3）构成。加长扁管（1）的管口呈矩形状，毛刷头（2）前端面设计成平面，侧面设计成圆形弧度面并加工有开孔（4），开孔（4）上与毛刷头（2）上粘接的刷毛（3）呈交叉排列。本实用新型可轻松刷掉排气罩深处及弧度处的沉积物，同时由于毛刷头（2）与加长扁管（1）的吸头（6）组合成一体，使得刷掉的沉积物可立刻被吸走，避免了微小颗粒污染环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 常压 化学 沉积 排气 除尘 工具 | ||
【主权项】：
一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，其特征是：所述的一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具主要是由加长扁管（1）、毛刷头（2）、刷毛（3）构成；其中加长扁管（1）采用聚氯乙烯材料制做，加长扁管（1）的管口呈矩形状；毛刷头（2）的前端面设计为平面，侧面设计圆形弧度面，圆形弧度面上加工有开孔（4）；开孔（4）上与毛刷头（2）上粘接有刷毛（3），加长扁管（1）的一端与吸尘器上的软管连接，另一端吸头（6）组装在毛刷头（2）上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于洛阳单晶硅集团有限责任公司，未经洛阳单晶硅集团有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420491373.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
