[实用新型]隔热装置及多晶硅铸锭炉有效
申请号: | 201420510143.2 | 申请日: | 2014-09-04 |
公开(公告)号: | CN204111921U | 公开(公告)日: | 2015-01-21 |
发明(设计)人: | 廖继龙;胡亚兰;游达;胡碧波;朱战军 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种隔热装置及多晶硅铸锭炉,隔热装置包括依次固定连接的至少两种不同导热系数的炭毡,根据铸锭炉内热区分布的特点,选择隔热能力不同的炭毡,实现隔热能力空间差异化,避免出现石英坩埚各处籽晶熔化进度不一致的现象,从而保证了石英坩埚各处硅片的高转换效率。多晶硅铸锭炉采用隔热装置进行控制籽晶的熔化速度,而隔热装置包括至少两种不同导热系数的炭毡,根据铸锭炉内热区分布的特点,选择隔热能力不同的炭毡,实现隔热能力空间差异化,避免出现石英坩埚各处籽晶熔化进度不一致的现象,从而保证了石英坩埚各处硅片的高转换效率。 | ||
搜索关键词: | 隔热 装置 多晶 铸锭 | ||
【主权项】:
一种隔热装置,其特征在于,包括依次固定连接的至少两种不同导热系数的炭毡,所述炭毡之间通过炭条固定连接。
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