[实用新型]一种气相沉积清理行星盘的系统

摘要

本实用新型公开了一种气相沉积清理行星盘的系统，属于芯片工装设备领域。包括蒸发机台、冷泵、机械泵、高压柜和晶控仪，所述的蒸发机台包括钟罩，所述的钟罩将三角架、轨道、行星盘、烘烤灯和电子枪封闭在钟罩内部形成腔体，钟罩内部的腔体与外部的氦气压缩机、冷泵、机械泵和高压柜连接。在系统中使用旋转电机系统，使用圆周形的轨道。在旋转过程中对行星盘进行气相沉积，沉积表面均匀光滑。使用物理方法的气相沉积方法，使用镍和铝进行气相沉积，对环境无影响，环保无污染，仪器的使用寿命长，耗时短，效率高。

主权项

一种气相沉积清理行星盘的系统，其特征在于：包括蒸发机台、冷泵(9)、机械泵(10)、高压柜(12)和晶控仪(11)，蒸发机台包括钟罩(1)，所述的钟罩(1)将三角架(2)、轨道(3)、行星盘(4)、烘烤灯(5)和电子枪(6)封闭在钟罩(1)内部形成腔体，腔体底部设置有密封圈，所述的钟罩(1)与三角架(2)连接，三角架(2)和轨道(3)相连接，行星盘(4)通过悬臂与三角架(2)连接，行星盘(4)的边缘与轨道(3)相切连接，轨道(3)上表面设置有烘烤灯(5)，轨道(3)正下方设置有电子枪(6)； 钟罩(1)内部的腔体与外部的冷泵(9)、机械泵(10)和高压柜(12)相连通，氦气压缩机(8)和真空表(7)分别与冷泵(9)相连接，钟罩(1)顶部设置有旋转电机，晶控仪(11)的测试探头设置于钟罩(1)顶部，晶控仪(11)通过数据线与钟罩(1)顶部的测试探头相连接。