[实用新型]石墨底板和多晶硅锭炉的硅溢流检测装置

摘要

本实用新型公开了一种石墨底板和多晶硅锭炉的硅溢流检测装置，用于承载多晶硅铸锭炉中的坩埚，所述石墨底板开设环形槽和溢流通道；所述溢流通道连通于所述环形槽与所述石墨底板的边缘之间，当所述坩埚中漏出的硅液滴入所述环形槽时，所述溢流通道用于使所述硅液流到所述石墨底板的边缘处，并滴落到溢流线。本实用新型提供的石墨底板通过在石墨底板上开设环形槽，同时，坩埚的底部的边缘位于环形槽的槽宽之间，使得承载于所述石墨底板上坩埚一旦破裂，硅液就会溢流至所述环形槽中，进而滴至所述溢流线，从而能够及时检测到硅液溢流，减少损失及降低生产安全事故发生的概率。

主权项

一种石墨底板，用于承载多晶硅铸锭炉中的坩埚，其特征在于，所述石墨底板开设环形槽和溢流通道；所述溢流通道连通于所述环形槽与所述石墨底板的边缘之间，当所述坩埚中漏出的硅液滴入所述环形槽时，所述溢流通道用于使所述硅液流到所述石墨底板的边缘处，并滴落到溢流线。