[实用新型]金属晶舟盒固定装置及晶舟盒推车有效
| 申请号： | 201420553855.2 | 申请日： | 2014-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN204155913U | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 欧阳婧;徐波;赵娟 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种金属晶舟盒固定装置及晶舟盒推车，金属晶舟盒固定装置包括：底板、底部表面固定在底板上的底座及首尾相连组成方形固定在底板上方的护栏，其中，底座顶部表面与水平面之间呈预定夹角。金属晶舟盒固定装置内设有顶部表面具有一定倾斜角度，并将金属晶舟盒固定装置固定在晶舟盒推车上，在金属晶舟盒放置在金属晶舟盒固定装置内时，位于金属晶舟盒内的晶圆也会倾向一侧，紧贴卡槽的一侧，从而避免在传输金属晶舟盒时晶圆在卡槽内发生剧烈晃动，防止晶圆破片。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 晶舟盒 固定 装置 推车 | ||
【主权项】：
一种金属晶舟盒固定装置，其特征在于，包括：底座、底板及护栏，其中，所述底座顶部表面与水平面之间呈预定夹角，所述底座底部表面固定在所述底板上，所述护栏首尾相连组成方形固定在所述底板的上方，并与所述底板之间保持预定高度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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