[实用新型]应用于紫外固化纳米压印的软膜压印装置有效

专利信息
申请号: 201420559915.1 申请日: 2014-09-26
公开(公告)号: CN204155061U 公开(公告)日: 2015-02-11
发明(设计)人: 史晓华 申请(专利权)人: 史晓华
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 代理人: 魏亮芳
地址: 215513 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种应用于紫外固化纳米压印的软膜压印装置,包括滚动单元和模板,该模板于其上连接处形成与滚动单元的固定连接或者可拆卸连接,该模板的其余部分则覆于滚动单元的滚动面。本实用新型的软膜压印装置相较于现有技术,其对模板的压印制作是逐渐展开的,因此其对模板的压制力是均匀分布的,由此便不会产生像现有技术中所产生的模板覆盖深浅的问题,从而保证图案印制的均匀性,提高产品的良率。
搜索关键词: 应用于 紫外 固化 纳米 压印 装置
【主权项】:
应用于紫外固化纳米压印的软膜压印装置,包括滚动单元和模板,其特征在于,所述模板于其上连接处形成与所述滚动单元的固定连接或者可拆卸连接,所述模板的其余部分则覆于所述滚动单元的滚动面。
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