[实用新型]一种薄膜激光划刻装置

摘要

一种薄膜激光划刻装置，它涉及薄膜太阳电池激光划刻技术。本实用新型为了解决现有激光划刻中容易使划刻区域薄膜氧化，热影响区较大，除尘效果差的问题。本实用新型的一种薄膜激光划刻装置，包括除尘器管道、激光器、薄膜组件、薄膜组件夹具、惰性气体进气管、进气管固定件、清洁头和基座，激光器置于基座上，激光器上方设有薄膜组件夹具，薄膜组件置于气浮平台上,再由薄膜组件夹具固定，薄膜组件上表面上方设有集成为一体的除尘器管道和惰性气体进气管，惰性气体进气管通过进气管固定件进行固定，惰性气体进气管设于除尘器管道两端，除尘器管道下端设有清洁头，除尘器管道和惰性气体进气管的底端均贴近于薄膜组件。本实用新型用于薄膜的激光划刻。

主权项

一种薄膜激光划刻装置，其特征在于，包括除尘器管道(1)、激光器(2)、薄膜组件(3)、薄膜组件夹具(4)、惰性气体进气管(5)、进气管固定件(6)、清洁头(7)和基座(8)，激光器(2)置于基座(8)上，激光器(2)上方设有薄膜组件夹具(4)，薄膜组件(3)置于气浮平台上,再由薄膜组件夹具(4)固定，薄膜组件(3)上表面上方设有集成为一体的除尘器管道(1)和惰性气体进气管(5)，惰性气体进气管(5)通过进气管固定件(6)进行固定，惰性气体进气管(5)设于除尘器管道(1)两端，除尘器管道(1)下端设有清洁头(7)，除尘器管道(1)和惰性气体进气管(5)的底端均贴近于薄膜组件(3)。