[实用新型]坩埚保温装置有效
申请号: | 201420561788.9 | 申请日: | 2014-09-26 |
公开(公告)号: | CN204224745U | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
发明(设计)人: | 徐永亮;廖永建 | 申请(专利权)人: | 苏州恒嘉晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 逯长明;许伟群 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型实施例公开了一种坩埚保温装置,该坩埚保温装置用于盖合与该坩埚保温装置相配合的坩埚,所述坩埚保温装置包括:金属挡板,所述金属挡板用于覆盖在所述坩埚的开口处;以及石墨保温结构,所述石墨保温结构设置在所述金属挡板上,所述石墨保温结构的中心位置设置为空心的圆台结构;其中,所述空心的圆台结构的下端面的直径小于所述空心的圆台结构的上端面的直径。通过该坩埚保温装置的非均匀保温的石墨保温结构有效增加与其配合的坩埚内的径向温度梯度和纵向温度梯度,从而有效提高晶体质量。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 保温 装置 | ||
【主权项】:
一种坩埚保温装置,用于盖合与所述坩埚保温装置相配合的坩埚(20),其特征在于,所述坩埚保温装置包括:金属挡板(11),所述金属挡板(11)用于覆盖在所述坩埚(20)的开口处;以及石墨保温结构(10),所述石墨保温结构(10)设置在所述金属挡板(11)上,所述石墨保温结构的中心位置设置为空心的圆台结构;其中,所述空心的圆台结构的下端面的直径小于所述空心的圆台结构的上端面的直径。
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