[实用新型]一种压电陶瓷动态频率响应的光学检测装置

摘要

本实用新型涉及一种压电陶瓷动态频率响应的光学检测装置。本实用新型所述的检测装置，主要包括迈克尔逊干涉仪、信号控制器、光电探测器和数据采集显示系统。本实用新型运用迈克尔逊干涉原理进行光路系统的结构设计，通过对压电陶瓷施加扫描电压，产生光程差并得到干涉条纹，利用光电探测器探测干涉光上某点的光强变化，通过数据采集显示系统得到电压-光强变化曲线来判断压电陶瓷的相对位置变化，从而判断压电陶瓷的动态频率响应特性。本实用新型在考察压电陶瓷动态频率响应方面提供了简单有效、测量精度高、具有通用性且易于使用的检测装置。

主权项

一种压电陶瓷动态频率响应的光学检测装置，其特征在于：包括迈克尔逊干涉仪、信号控制器、光电探测器和数据采集显示系统；其中所述迈克尔逊干涉仪双干涉臂分别为参考臂和测量臂，待检测的压电陶瓷紧固于所述测量臂中的移动反光镜后，所述移动反光镜随所述压电陶瓷形变在光路方向上发生位移；所述信号控制器向所述压电陶瓷施加扫描电压；所述迈克尔逊干涉仪干涉光出射至所述光电探测器；所述光电探测器探测干涉光选定点的光强并输出信号至所述数据采集显示系统。