[实用新型]一种集成式拉晶炉有效
| 申请号： | 201420566763.8 | 申请日： | 2014-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN204080177U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 陈磊;刘栓红;赵丽萍;钱俊有;张文涛;蔡水占;郭晶晶;张会超;陈永平 | 申请（专利权）人： | 河南鸿昌电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 461500 河南省许昌*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体生产技术领域的设备，名称是一种集成式拉晶炉，包括架子，架子上设置有拉晶炉炉体，拉晶炉炉体连接摇摆动力装置，其特征是：所述的炉体是多个的，多个拉晶炉炉体都铰接在架子上，多个拉晶炉炉体连接一个摇摆动力装置，所述的多个拉晶炉炉体在架子上上下设置，所述的摇摆动力装置在架子的上方或下方；或者，所述的多个拉晶炉炉体在架子上左右平行设置，所述的摇摆动力装置在架子一侧设置，多个拉晶炉炉体用连接杆连接，连接杆连接摇摆动力装置，这样的集成式拉晶炉具有生产效率高、占用空间小的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 式拉晶炉 | ||
【主权项】：
一种集成式拉晶炉，包括架子，架子上设置有拉晶炉炉体，拉晶炉炉体连接摇摆动力装置，其特征是：所述的炉体是多个的，多个拉晶炉炉体都铰接在架子上，多个拉晶炉炉体连接一个摇摆动力装置。
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