[实用新型]一种自动石墨舟有效
申请号: | 201420580027.8 | 申请日: | 2014-10-09 |
公开(公告)号: | CN204257607U | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
发明(设计)人: | 冯晓倩;郑方渊;张华 | 申请(专利权)人: | 上海弘竣实业有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201708 上海市青浦区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种太阳能电池片加工设备,具体公开了一种自动石墨舟,包括石墨舟片、石墨棒、石墨螺母、石墨块和陶瓷管;所述石墨舟由若干个依次交错分布的石墨舟片组成,石墨舟片间通过石墨棒及石墨螺母串接后紧固连接,每个石墨舟片上均设有石墨棒安装孔;所述每个石墨舟片之间均通过陶瓷管相隔离,所述陶瓷管套在石墨棒上;每个石墨舟片间端部的石墨棒上均套有石墨块。本实用新型结构简单紧凑,安装使用方便,降低硅片的破碎率,提高了硅片镀膜的效率,适应性好,安全可靠;且石墨舟产品尺寸精确到一丝,能够完全与自动机械手匹配,大大提高插片正确率,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 石墨 | ||
【主权项】:
一种自动石墨舟,包括石墨舟片(6)、石墨棒(2)、石墨螺母(1)、石墨块(7)和陶瓷管(8);其特征在于,所述石墨舟由若干个依次交错分布的石墨舟片(6)组成,石墨舟片(6)间通过石墨棒(2)及石墨螺母(1)串接后紧固连接,每个石墨舟片(6)上均设有石墨棒安装孔(9);所述每个石墨舟片(6)之间均通过陶瓷管(8)相隔离,所述陶瓷管(8)套在石墨棒(2)上;每个石墨舟片(6)间端部的石墨棒(2)上均套有石墨块(7)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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