[实用新型]曝光机光源照射强度检测装置有效
| 申请号： | 201420586974.8 | 申请日： | 2014-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN204269230U | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 周坤麟;何立克 | 申请（专利权）人： | 叙丰企业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人： | 宋菲;刘云贵 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种曝光机光源照射强度检测装置，其包含：被照射单元，具有被照射平面，曝光机的多个光源照射被照射平面；影像撷取单元，撷取被照射平面被这些光源所照射的影像；以及光线强度识别单元，电连接影像撷取单元以借由这些光源所照射的影像的灰度识别这些光源的照射强度。借此，本实用新型的曝光机光源照射强度检测装置可随时检测曝光机的多个光源的照射强度，以提升曝光机曝光成品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 光源 照射 强度 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种曝光机光源照射强度检测装置，其特征在于，包含：被照射单元，具有被照射平面，曝光机的多个光源照射该被照射平面，该被照射平面设置有网格，该网格具有多个交叉点以分别为这些光源的照射中心，这些交叉点呈矩阵排列；影像撷取单元，撷取该被照射平面被这些光源所照射的影像；以及光线强度识别单元，电连接该影像撷取单元以借由这些光源所照射的影像的灰度识别这些光源的照射强度。
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