[实用新型]一种双层水冷籽晶杆结构有效
| 申请号： | 201420592196.3 | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN204162832U | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 刘瑜;陈晓玲 | 申请（专利权）人： | 杭州晶一智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310013 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双层水冷籽晶杆结构，包括水冷套（1）和籽晶杆（2）及第一密封件（3）、第二密封件（4），所述的籽晶杆（2）在所述的水冷套（1）的中间；所述的水冷套（1）与提拉机构刚性连接，并在第一密封件（3）处通过波纹管（5）与晶体炉连接，所述的籽晶杆（2）通过第二密封件（4）与所述的水冷套（1）连接。所述籽晶杆（2）与所述的水冷套（1）之间有10mm的间歇，没有任何接触。所述的籽晶杆（2）设置第一冷却出水口（9）、第一冷却进水口（8），所述的水冷套（1）设置第二冷却出水口（7）、第二冷却进水口（6）。本实用新型在引晶过程中可以只使用水冷套（1）进行间接水冷，保证了引晶过程中晶体生长质量，在引晶结束后又可对晶杆（2）直接进行水冷，可加速晶体生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双层 水冷 籽晶 结构 | ||
【主权项】：
一种双层水冷籽晶杆结构，包括水冷套（1）和籽晶杆（2）及第一密封件（3）、第二密封件（4），其特征在于：所述的籽晶杆（2）在所述的水冷套（1）的中间；所述的水冷套（1）与提拉机构刚性连接，并在第一密封件（3）处通过波纹管（5）与晶体炉连接，所述的籽晶杆（2）通过第二密封件（4）与所述的水冷套（1）连接。
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