[实用新型]晶圆传送装置

摘要

本实用新型提供一种晶圆传送装置，所述晶圆传送装置通过设置设有缺口的第一圆盘，以及位于所述第一圆盘两侧的第一传感器的发射端和接收端，通过所述第一传感器侦测缺口的位置来控制旋转手臂传送晶圆的位置，使得所述旋转手臂传送晶圆的位置更加精确。

主权项

一种晶圆传送装置，包括旋转轴和驱动装置，所述驱动装置适于驱动所述旋转轴旋转，其特征在于，还包括：第一圆盘，套置于所述旋转轴上，适于随所述旋转轴的转动而同步转动，且所述第一圆盘的边缘上设有缺口；第一传感器，固定于所述第一圆盘边缘外一侧，包括第一传感器发射端和第一传感器接收端，所述第一传感器发射端位于所述第一圆盘的上侧/下侧，所述第一传感器接收端位于与所述第一传感器发射端所在侧相对的所述第一圆盘的另一侧，所述第一传感器发射端适于发射信号照射至所述第一圆盘的边缘，所述第一传感器接收端适于在所述第一圆盘旋转至所述缺口暴露出所述第一传感器发射端时，接收所述第一传感器发射端发射的信号；控制装置，所述控制装置与所述驱动装置及所述第一传感器相连接，适于在所述第一传感器接收端接收到所述第一传感器发射端所发射的信号时控制所述驱动装置暂停工作。