[实用新型]一种化学气相沉积装置

摘要

本实用新型提供一种化学气相沉积装置，至少包括：表面在竖直平面内且相互平行的固定板和调节板；该调节板设有槽；所述槽由若干并行的单元槽组成，每个单元槽包含两列且相互贯通的通孔；该两列通孔彼此交错且相邻交错通孔间的垂直距离小于10毫米；该固定板设有与每个通孔对应的螺纹孔；螺栓组件由紧固于螺纹孔中的螺丝、固定于螺丝一端且位于固定板和调节板间的方形块及固定于方形块且嵌于通孔中的支撑块组成；所述螺丝位于与该方形块接触面的非中心位置；由一支柱的一端支撑的托盘；该支柱的另一端固定于调节板。利用本实用新型的化学气相沉积装置可以实现对托盘上下移动距离的微调，使得晶圆上沉积薄膜的更加均匀，提高产品的良率。

主权项

一种化学气相沉积装置，其特征在于，所述装置至少包括：相互平行的固定板和调节板；所述调节板上设有穿透其表面的槽；所述槽由若干并行分布的单元槽组成，每个单元槽包含两列均匀分布且相互贯通的通孔；该两列通孔彼此交错分布且相邻交错通孔之间的垂直距离小于10毫米；所述固定板表面设有与所述每个通孔一一对应的螺纹孔；将所述调节板固定于所述固定板上的螺栓组件；所述螺栓组件包含嵌于所述通孔中的支撑块、紧固于所述螺纹孔中的螺丝以及固定于所述螺丝一端且位于所述固定板和调节板之间的方形块；所述螺丝位于与该方形块接触面的非中心位置；由一支柱的一端支撑且用于承载晶圆的托盘；该支柱的另一端固定于所述调节板。