[实用新型]基于反挖槽工艺的GPP整流芯片有效

专利信息
申请号: 201420603729.3 申请日: 2014-10-08
公开(公告)号: CN204144250U 公开(公告)日: 2015-02-04
发明(设计)人: 程德明;胡建业;胡翰林;汪华锋;汪文锋 申请(专利权)人: 黄山硅鼎电子有限公司
主分类号: H01L25/065 分类号: H01L25/065
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 245600*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型提供一种基于反挖槽工艺的GPP整流芯片新产品,其电极性与常规的GPP整流芯片相反,芯片上方向面积较小的面为N型、新产品负极,芯片下方向面积较大的面为P型、新产品正极。新产品电热性能优于常规产品,反向耐压高于2000伏特。新产品生产成本不高于常规产品,能继续使用常规产品的在线设备、仪器、材料生产,可满足客户对GPP整流芯片产品的不同电极性要求。
搜索关键词: 基于 反挖槽 工艺 gpp 整流 芯片
【主权项】:
一种基于反挖槽工艺的GPP整流芯片,其结构特征为:芯片上方向面积较小的面为N型、负极,芯片下方向面积较大的面为P型、正极;P型扩散层深度为130~140微米,反挖槽后所剩留单晶硅片厚度为110~120微米,反挖的槽内充填烧融玻璃,反挖的槽中部激光切断成型。
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