[实用新型]晶片盒放置架有效
| 申请号： | 201420611206.3 | 申请日： | 2014-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN204155914U | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 张韬 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶片盒放置架，所述晶片盒放置架具有编号，其包括固定支架以及位于所述固定支架上水平放置的多层支撑板，每层所述支撑板上均设置有多组用于放置晶片盒的晶片盒固定槽，所述每组晶片盒固定槽上安装有传感器与译码器，所述传感器与译码器通过数据线与一设备自动化系统连接；传感器检测到晶片盒固定槽上放置有晶片盒，译码器将晶片盒放置架的编号信息与译码器读取到的晶片盒的编号等信息传输至设备自动化系统，从设备自动化系统可以了解到某一晶片盒的具体放置位置，从而避免了晶片盒的丢失，节省了工作人员寻找晶片盒所花费的时间，同时优化了晶片的周转率，减少了机台的等待时间。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 放置 | ||
【主权项】：
一种晶片盒放置架，其特征在于，所述晶片盒放置架具有编号，其包括固定支架以及位于所述固定支架上水平放置的多层支撑板，每层所述支撑板上均设置有多组用于放置晶片盒的晶片盒固定槽，所述每组晶片盒固定槽上安装有传感器与译码器，所述传感器与译码器通过数据线与一设备自动化系统连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
