[实用新型]车灯玻璃用的硅油镀膜装置有效
申请号: | 201420618268.7 | 申请日: | 2014-10-23 |
公开(公告)号: | CN204138751U | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 朱建明 | 申请(专利权)人: | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/12 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 谢静娜;裘晖 |
地址: | 52606*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种车灯玻璃用的硅油镀膜装置,包括真空室、硅油分配组件、放电组件和控制器;硅油分配组件包括硅油存储器、质量流量计和充气分配管,充气分配管设于真空室内,硅油存储器通过管道与充气分配管连接,硅油存储器与充气分配管连接的管道上设有质量流量计,位于质量流量计两侧的管道上分别设有电磁阀;放电组件包括电源和多个高压放电棒,多个高压放电棒分布于真空室内,各高压放电棒分别与电源连接;电源和质量流量计分别与控制器连接。本硅油镀膜装置可实现硅油蒸汽流量的精确控制,确保了真空室内的真空度稳定,放电棒放电稳定,也实现工件表面镀膜均匀,同时简化加工工艺,有效提高镀膜效率,也可保证真空室内的真空度稳定。 | ||
搜索关键词: | 车灯 玻璃 硅油 镀膜 装置 | ||
【主权项】:
车灯玻璃用的硅油镀膜装置,其特征在于,包括真空室、硅油分配组件、放电组件和控制器;硅油分配组件包括硅油存储器、质量流量计和充气分配管,充气分配管设于真空室内,硅油存储器通过管道与充气分配管连接,硅油存储器与充气分配管连接的管道上设有质量流量计,位于质量流量计两侧的管道上分别设有电磁阀;放电组件包括电源和多个高压放电棒,多个高压放电棒分布于真空室内,各高压放电棒分别与电源连接;电源和质量流量计分别与控制器连接。
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