[实用新型]覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统有效
| 申请号： | 201420627332.8 | 申请日： | 2014-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN204259285U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 于淑会;郭欧平;罗遂斌;孙蓉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统。该覆铜板的蚀刻设备，包括：图形蚀刻框，包括内框与外框，外框套设于内框外，且外框与内框之间存在间隙，外框与内框用于承载待蚀刻覆铜板的一端为图形蚀刻框的承载端，间隙为图形蚀刻框的蚀刻区；喷淋件，包括喷淋器，喷淋器的喷头设于蚀刻区内；固定件，包括抽真空装置及与抽真空装置连接的气管，气管的数目为多条，若干条气管远离抽真空装置的一端穿设于内框上，若干条气管远离抽真空装置的一端穿设于外框上，多条气管用于除去待蚀刻覆铜板与承载端接触处的气体。使用上述覆铜板的蚀刻设备可以得到较高的产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 铜板 蚀刻 设备 系统 | ||
【主权项】：
一种覆铜板的蚀刻设备，其特征在于，包括：图形蚀刻框，包括内框与外框，所述外框套设于所述内框外，且所述外框与所述内框之间存在间隙，所述外框与所述内框用于承载待蚀刻覆铜板的一端为所述图形蚀刻框的承载端，所述间隙为所述图形蚀刻框的蚀刻区；喷淋件，包括喷淋器，所述喷淋器的喷头设于所述蚀刻区内；及固定件，包括抽真空装置及与所述抽真空装置连接的气管，所述气管的数目为多条，若干条气管远离所述抽真空装置的一端穿设于所述内框上，若干条气管远离所述抽真空装置的一端穿设于所述外框上，所述多条气管用于除去待蚀刻覆铜板与所述承载端接触处的气体。
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