[实用新型]一种三氯氢硅合成炉停炉后废硅粉回收系统

摘要

本实用新型提供一种三氯氢硅合成炉停炉后废硅粉回收系统，通过设置进料管线和卸料管线，并借助真空泵，将三氯氢硅合成炉内的废硅粉输送至分离器中，一方面，实现了废硅粉的封闭式回收，避免了硅粉与空气中氧气和水分接触，保证的硅粉的活性，也降低了闪爆的危险，提高安全性；另一方面，降低人工劳动强度，保护了职工身体健康；通过分离器对废硅粉中的大颗粒的硅粉与小颗粒的硅尘进行分离，将大颗粒的硅粉输回收至三氯氢硅合成炉内，避免将失去活性的小颗粒硅尘带入三氯氢硅合成炉内，能够延长三氯氢硅合成炉的检修周期；该废硅粉回收系统结构简单，易于操作。

主权项

一种三氯氢硅合成炉停炉后废硅粉回收系统，其特征在于，所述系统包括：分离器、三氯氢硅合成炉和真空泵，分离器分别与真空泵和三氯氢硅合成炉相连，分离器的排料口与三氯氢硅合成炉的进料口相连，分离器的进料口与进料管线的一端相连，三氯氢硅合成炉的出料口与卸料管线的一端相连，卸料管线的另一端与进料管线的另一端相连；分离器能够在真空泵的作用下形成负压，将三氯氢硅合成炉内的废硅粉经由卸料管线和进料管线输送至分离器内，以及能够将废硅粉中大颗粒的硅粉与小颗粒的硅尘分离，并在三氯氢硅合成炉内的废硅粉全部被输送出之后，将大颗粒的硅粉输送至三氯氢硅合成炉内。