[实用新型]一种精密激光扫描微孔加工装置

摘要

本实用新型涉及激光加工技术领域，公开了一种精密激光扫描微孔加工装置，该加工装置包括扫描振镜外壳、振镜片、平场透镜和透射平板，其中，扫描振镜外壳的侧面和底面上分别加工有通孔，作为激光束入射孔和通光孔；外部激光束通过激光束入射孔进入到扫描振镜外壳内，经过振镜片反射后穿过通光孔，入射到平场透镜对入射激光束进行聚焦，聚焦后的激光束经过透射平板作用在待加工材料上。本实用新型中采用透射平板对聚焦光束旋转透射，从而实现聚焦光束焦点在二维平面上的微小移动，从而实现精密微孔的加工；此外通过第一透射平板和第二透射平板在小范围内的微孔加工，能提升扫描光束运动的分辨率并降低热漂移，并能够保证微孔的精确、稳定加工。

主权项

一种精密激光扫描微孔加工装置，其特征在于：该加工装置包括扫描振镜外壳(1)、振镜片、平场透镜(7)和透射平板，其中，扫描振镜外壳(1)的侧面和底面上分别加工有通孔，作为激光束入射孔(2)和通光孔；外部激光束通过激光束入射孔(2)进入到扫描振镜外壳(1)内，经过振镜片反射后穿过通光孔，入射到平场透镜(7)对入射激光束进行聚焦，聚焦后的激光束经过透射平板作用在待加工材料上。