[实用新型]一种选择性发射电极太阳能电池的制备系统

摘要

本实用新型公开了一种选择性发射电极太阳能电池的制备系统，包括制绒设备、第一丝网印刷设备、热扩散设备、去PSG和边缘刻蚀设备、减反膜沉积设备、第二丝网印刷设备和烧结设备；所述热扩散设备包括炉管、POCl3装置、大N2管路、小N2管路、O2管路、O3管路和紫外灯，所述POCl3装置、大N2管路、小N2管路、O2管路、O3管路均和所述炉管连接。采用本制备系统，可防止热扩散过程中磷浆挥发物对硅片的影响，提高硅片的外观质量，保证电池的转换效率。

主权项

一种选择性发射电极太阳能电池的制备系统，其特征在于，包括制绒设备、第一丝网印刷设备、热扩散设备、去PSG和边缘刻蚀设备、减反膜沉积设备、第二丝网印刷设备和烧结设备；所述热扩散设备包括炉管、POCl3装置、大N2管路、小N2管路、O2管路、O3管路和紫外灯，所述POCl3装置、大N2管路、小N2管路、O2管路、O3管路均和所述炉管连接。