[实用新型]油泵排气系统有效
申请号: | 201420649019.4 | 申请日: | 2014-11-03 |
公开(公告)号: | CN204327438U | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
发明(设计)人: | 王开军;吴耀辉 | 申请(专利权)人: | 苏州同冠微电子有限公司 |
主分类号: | F04B37/14 | 分类号: | F04B37/14;F04B39/00 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 陈书华 |
地址: | 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种油泵排气系统。油泵排气系统包括真空抽气管道、真空油泵、排气管道、冷凝装置和废液收集器,所述真空油泵具有进气口和排气口,真空抽气管道与进气口连接,排气管道的一端与排气口连接,排气管道的另一端与冷凝装置连接,废液收集器上具有进液口,冷凝装置与进液口连接。本实用新型在真空油泵所连接的排气管道末端加装冷凝装置和废液收集器,将混合废气冷却液化变成带腐蚀性的油态液体,回流进入废液收集器中集中排放,使废气不会凝结在排气管道中腐蚀排气管道,也不会回流进入油泵引起损坏。保证了设备的使用效率,提高了工艺设备的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 油泵 排气 系统 | ||
【主权项】:
一种油泵排气系统,其特征是:包括真空抽气管道(1)、真空油泵(2)、排气管道(3)、冷凝装置(4)和废液收集器(5),所述真空油泵(2)具有进气口(21)和排气口(22),真空抽气管道(1)与进气口(21)连接,排气管道(3)的一端与排气口(22)连接,排气管道(3)的另一端与冷凝装置(4)连接,废液收集器(5)上具有进液口(51),冷凝装置(4)与进液口(51)连接。
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