[实用新型]光伏扩散工序中石英舟装载用装片机有效
| 申请号： | 201420652062.6 | 申请日： | 2014-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN204243017U | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 李长英;陈光;高玉良 | 申请（专利权）人： | 江阴方艾机器人有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/673 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;陈强 |
| 地址： | 214442 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种光伏扩散工序中石英舟装载用装片机，所述装片机包含有装片机架（1），所述装片机架（1）的工作台面上安装有花篮固定架（2），所述花篮固定架（2）内并排放置有两个花篮（3），且所述装片机架（1）的工作台面上通过直线导轨滑动设置有装片推进架（4），该装片推进架（4）位于上述花篮固定架（2）旁，且装片推进架（4）靠近花篮固定架（2）的一侧竖向设置有导条（5），所述花篮（3）具有100个槽，且100个槽均匀布置。本实用新型一种光伏扩散工序中石英舟装载用装片机，效率高且碎片率低。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 工序 石英 装载 用装片机 | ||
【主权项】：
一种光伏扩散工序中石英舟装载用装片机，其特征在于：所述装片机包含有装片机架（1），所述装片机架（1）的工作台面上安装有花篮固定架（2），所述花篮固定架（2）内并排放置有两个花篮（3），且所述装片机架（1）的工作台面上通过直线导轨滑动设置有装片推进架（4），该装片推进架（4）位于上述花篮固定架（2）旁，且装片推进架（4）靠近花篮固定架（2）的一侧竖向设置有导条（5）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
