[实用新型]一种具有曝光功能的涂胶显影机有效
| 申请号： | 201420652598.8 | 申请日： | 2014-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN204155062U | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 蔡家豪;王兵;陈松;吕荣英;段伟 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种具有曝光功能的涂胶显影机，集涂胶、曝光和显影功能于一体，至少包括涂胶单元、曝光单元、显影单元以及晶片承载装置，所述涂胶单元、曝光单元和显影单元通过具有固定、加热和旋转晶片功能的晶片承载装置作为载体，进行涂胶、曝光和显影的循环操作。所述具有曝光功能的涂胶显影机为一体机，提高了晶片生产的自动化程度，其可同时作业多片晶片，提高了晶片的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 曝光 功能 涂胶 显影 | ||
【主权项】：
一种具有曝光功能的涂胶显影机，至少包括涂胶单元、曝光单元、显影单元以及晶片承载装置，所述涂胶单元、曝光单元和显影单元通过具有固定、加热和旋转晶片功能的晶片承载装置作为载体，进行涂胶、曝光和显影的循环操作，实现集涂胶、曝光和显影功能于一体。
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