[实用新型]一种用于电子束物理气相沉积制备涂层的夹具有效
| 申请号： | 201420657011.2 | 申请日： | 2014-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN204281853U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 邹卓;王璐;张佳平 | 申请（专利权）人： | 沈阳黎明航空发动机（集团）有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/30 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 任凯 |
| 地址： | 110043 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种夹具，具体涉及一种用于电子束物理气相沉积制备涂层的夹具。本实用新型的技术方案为：该夹具包括芯轴、圆板、支杆、卡头、支架和套筒，所述芯轴的两端分别与两个所述圆板的圆心固定连接，所述支杆的一端与一个所述圆板的圆心固定连接，所述支杆的另一端设置卡头，所述卡头用于安装在电子束物理气相沉积设备的主轴上；所述圆板的边缘处设置支架，所述支架在两个所述圆板上对称设置，所述套筒利用夹子或金属丝固定在所述支架上，所述套筒用于放置力学性能试棒。本实用新型提供的夹具，使装夹在上面的力学性能试棒能够均匀、高效的制备涂层，制备的涂层能够反映出带涂层的零件应用时的真实状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电子束 物理 沉积 制备 涂层 夹具 | ||
【主权项】：
一种用于电子束物理气相沉积制备涂层的夹具，其特征在于，所述夹具包括芯轴、圆板、支杆、卡头、支架和套筒，所述芯轴的两端分别与两个所述圆板的圆心固定连接，所述支杆的一端与一个所述圆板的圆心固定连接，所述支杆的另一端设置卡头，所述卡头用于安装在电子束物理气相沉积设备的主轴上；所述圆板的边缘处设置支架，所述支架在两个所述圆板上对称设置，所述套筒利用夹子或金属丝固定在所述支架上，所述套筒用于放置力学性能试棒。
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