[实用新型]一种新型真空设备的排气装置有效
| 申请号： | 201420660099.3 | 申请日： | 2014-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN204224741U | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 张银华 | 申请（专利权）人： | 富阳科信经济信息咨询有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空设备领域，具体涉及一种新型真空设备的排气装置，包括炉体、水冷装置、阀泵，所述炉体内安装有石英坩埚，所述石英坩埚外围设有石墨护板，且在石墨护板的下端面安装有支撑底板，所述支撑底板下表面安装有隔热底板；所述隔热底板的两端固定连接有隔热侧板，且在两侧的两块隔热侧板上端连接有隔热顶板；所述石英坩埚的外侧还安装有环形加热板；所述水冷装置安装在炉体顶面上，该水冷装置通过排气管依次通过炉体上壁和隔热顶板贯通到石英坩埚内；水冷装置通过抽气管路与阀泵相连通。本实用新型可提供一种结构简单、使用方便、成本较低的新型真空设备的排气装置，可以延长附属产品使用寿命，可以投入生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空设备 排气装置 | ||
【主权项】：
一种新型真空设备的排气装置，包括炉体、水冷装置、阀泵，其特征在于，所述炉体内安装有石英坩埚，所述石英坩埚外围设有石墨护板，且在石墨护板的下端面安装有支撑底板，所述支撑底板下表面安装有隔热底板；所述隔热底板的两端固定连接有隔热侧板，且在两侧的两块隔热侧板上端连接有隔热顶板；所述石英坩埚的外侧还安装有环形加热板；所述水冷装置安装在炉体顶面上，该水冷装置通过排气管依次通过炉体上壁和隔热顶板贯通到石英坩埚内；水冷装置通过抽气管路与阀泵相连通。
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