[实用新型]一种多晶硅铸锭炉热场结构

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉热场结构，由固定隔热笼、底部隔热板和顶部隔热板所形成的中空炉腔；设置在炉腔中央，用于作为晶体生长的容器的坩埚，其底部通过石墨支撑支撑，石墨支撑底部设置有热交换块；以及中空夹层结构的隔热块，其同轴套装在热交换块的外周，其中隔热块的内壁与热交换块外周壁面具有间隙，外壁固定设置在固定隔热笼内壁上，该隔热块顶部低于热交换块顶部所在平面。本实用新型的热场结构优化了石墨支撑侧壁附近流场及温度场分布，不仅可以降低化料过程能耗，而且可以有效抑制形核初期坩埚底部侧壁附近晶粒的快速生长，可以获得微凸和较为平直的凝固界面，能够降低硅锭内部热应力，减少微观破裂的产生，从而提高定向凝固多晶硅锭质量。

主权项

一种多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，包括：由固定隔热笼(2)、设置在其底部的底部隔热板(3)和设置在其顶部的顶部隔热板(1)所形成的中空炉腔，该炉腔内对称分布有加热器(5)；坩埚(6)，其设置在所述炉腔中央，用于作为晶体生长的容器，其底部通过石墨支撑(9)支撑，所述石墨支撑(9)底部设置有热交换块(4)，用于加热或冷却过程中的热交换；以及隔热块(11)，其为中空夹层结构，同轴套装在所述热交换块(4)的外周，其中隔热块(11)的内壁用于包覆设置在坩埚(6)底部的热交换块(4)外周壁面，且该内壁与所述热交换块(4)外周壁面具有间隙，隔热块(11)外壁固定设置在所述固定隔热笼(2)内壁上，该隔热块(11)顶部低于所述热交换块(4)顶部所在平面。