[实用新型]一种用于多晶硅铸锭炉的顶部加热器

摘要

本实用新型公开了一种用于多晶硅铸锭炉的顶部加热器，涉及铸锭炉技术领域；包括外圆环加热板、内圆环加热板和三个长条形的连接板，所述内圆环加热板套在外圆环加热板内，内圆环加热板和外圆环加热板是沿圆周方向的凹凸形圆环，通过三个连接板连接，连接板与外圆环加热板的三个电极连接点为与三相交流电连接的连接点。本实用新型能够使多晶硅铸锭炉顶部加热器的对称性加强，在铸锭过程中形成的热场的平衡性加强，保证了硅锭生长界面的平稳性，使得晶粒的结构得到优化，杂质的损失减少。

主权项

一种用于多晶硅铸锭炉的顶部加热器，其特征在于包括外圆环加热板（3）、内圆环加热板（4）和三个长条形的连接板（5），所述内圆环加热板（4）套在外圆环加热板（3）内，内圆环加热板（4）和外圆环加热板（3）是沿圆周方向的凹凸形圆环，通过三个连接板（5）连接，连接板（5）与外圆环加热板（3）的三个电极连接点（6）为与三相交流电连接的连接点。