[实用新型]一种摆式MEMS加速度计芯片电容测试工具

摘要

本实用新型涉及一种摆式MEMS加速度计芯片电容测试工具。本实用新型包括测试工具主体和测试针筒；测试工具主体包括底座、连杆结构、针筒安装块；底座两侧各带有一道滑槽，上部有两个轴套；连杆结构包括两根相互平行的L型拉杆、两根相互平行的一字形拉杆、四根相互平行的横杆，横杆与L型拉杆和一字形拉杆通过轴孔及螺纹螺纹连接；两根滑轨安装在底座上，滑轨上安装有针筒安装块；连杆结构带动针筒安装块沿滑轨运动；针筒安装块上安装有不同规格的测试针筒，针筒上的针头有弹性，其位置与加速度计芯片电容测试点对应。底座与连杆结构、针筒相互配合使用。

主权项

一种摆式MEMS加速度计芯片电容测试工具，其特征是：所述测试工具包括测试工具主体和测试针筒；测试工具主体包括底座(1)、连杆结构(2、3、5、6、7、9‑1、9‑2、9‑3、9‑4)、侧壁针筒安装块(10)；底座两侧各带有一道滑槽(4)，上部有两个轴套(2)，两根滑轨(5)安装在底座(1)上表面上，滑轨上安装有侧壁针筒安装块(10)；连杆结构包括两根相互平行的L型拉杆(7)、两根相互平行的一字形拉杆(6)、第一横杆(9‑1)，第二横杆(9‑2)，第三横杆(9‑3)，第四横杆(9‑4)，第一横杆(9‑1)安装于轴套(2)内作为旋转轴，同时安装于L型拉杆(7)的末端的安装孔，第二横杆(9‑2)穿过L型拉杆(7)中段的安装孔与一字形拉杆(6)相连接，第三横杆(9‑3)和第四横杆(9‑4)与L型拉杆(7)相连接用于固定截面针筒安装块(8)，一字形拉杆(6)与侧壁针筒安装块(10)相连接，连杆结构带动侧壁针筒安装块(10)沿滑轨(5)运动，同时带动安装在截面针筒安装块(8)上的截面测试针筒(11)向下运动；截面测试针筒(11)通过螺纹连接安装到截面针筒安装块(8)上。