[实用新型]一种半导体薄膜真空气相沉积的连续自动进料装置

摘要

本实用新型涉及一种半导体薄膜真空气相沉积的连续自动进料装置。该装置包括从上至下依次布置的一上料斗、一下料斗、一原材料转移机构以及一原材料输送机构；原材料转移机构包括一上下方向的通道、设于通道内的一旋转轴以及驱动旋转轴转动的驱动装置；旋转轴垂直于通道的长度方向穿设于通道内，旋转轴的直径与通道的宽度相匹配将通道封堵，旋转轴的周向上设有至少两个凹槽，这些凹槽容积相等，并以旋转轴的轴心为中心呈对称分布；并且，在通道内旋转轴的上方设有一贴着旋转轴表面的遮挡面，该遮挡面偏于通道内旋转轴径向上的一侧，使旋转轴上部径向上的一侧敞开作为落料口，另一侧被封挡。本实施例工作可靠，整体结构简单、实现成本不高。

主权项

一种半导体薄膜真空气相沉积的连续自动进料装置，其特征在于：包括从上至下依次布置的一上料斗（1）、一下料斗（2）、一原材料转移机构（3）以及一原材料输送机构（4）；所述上料斗（1）的下端口经一第一阀门（5）与下料斗（2）的上端口连通，而所述下料斗（2）的下端口连通原材料转移机构（3）的上端，所述原材料转移机构（3）的下端与原材料输送机构（4）的进口连通，该原材料输送机构（4）的出口供接半导体薄膜真空气相沉积装置（7）；并且，所述上料斗（1）的上端设放料口，该放料口上设一盖板（8），上料斗（1）上接有抽真空装置（9），上料斗（1）还设一连通外部的放气口（10），该放气口（10）上设有第二阀门（11），以此所述上料斗（1）、下料斗（2）、原材料转移机构（3）以及原材料输送机构（4）的内腔连通成为一真空腔；所述原材料转移机构（3）包括一上下方向的通道（12）、设于通道（12）内的一旋转轴（13）以及驱动旋转轴（13）转动的驱动装置；所述旋转轴（13）垂直于通道（12）的长度方向穿设于通道（12）内，旋转轴（13）的直径与通道（12）的宽度相匹配将通道封堵，旋转轴（13）的周向上设有至少两个凹槽（14），这些凹槽（14）容积相等，并以旋转轴（13）的轴心为中心呈对称分布；并且，在通道（12）内旋转轴（13）的上方设有一贴着旋转轴（13）表面的遮挡面（15），该遮挡面（15）偏于通道（12）内旋转轴（13）径向上的一侧，使旋转轴（13）上部径向上的一侧敞开作为落料口（16），另一侧被封挡。