[实用新型]一种晶棒切片系统

摘要

本实用新型公开了一种晶棒切片系统，包括钢线切割机构和晶棒夹持运动机构，钢线切割机构由钢线、线辊和钢线驱动装置组成，晶棒夹持运动机构可带动待切割晶棒沿水平方向和垂直方向运动，还包括水箱机构，水箱机构包括装有切割水的切割水箱，水箱上方设置两个线辊，两线辊相隔一段距离平行设置在切割水箱上方，切割水的水面以下设置两个线辊，两线辊相隔一段距离水平设置在切割水箱的切割水的水面以下并完全没入切割水中，钢线通过四个线辊使得切割水中的工作钢线部分平行设置，晶棒夹持运动机构带动晶棒在切割水的水面下向下垂直运动与工作钢线接触进行切片。该系统可消除钢线切割晶棒过程中产生的高温和切割粉尘。

主权项

一种晶棒切片系统，包括钢线切割机构(17)和晶棒夹持运动机构(22)，所述钢线切割机构(17)由钢线(1)、线辊(2，18，19，20)和钢线驱动装置组成，所述晶棒夹持运动机构(22)可带动待切割晶棒(23)沿水平方向和垂直方向运动，其特征在于：还包括水箱机构(16)，所述水箱机构(16)包括装有切割水(4)的切割水箱(3)，两个线辊(2，18)相隔一段距离平行设置在所述切割水箱(3)上方，两个线辊(19，20)相隔一段距离水平设置在所述切割水箱(3)的切割水(4)的水面以下并完全没入切割水(4)中，所述钢线(1)通过所述四个线辊(2，18，19，20)使得切割水(4)中的工作钢线部分(21)平行设置，所述晶棒夹持运动机构(22)夹持晶棒(23)的两端，带动晶棒(23)垂直向下运动并完全没入切割水(4)中，使得晶棒(23)的棒身与工作钢线(21)接触进行切片。