[实用新型]一种镀膜装置有效
| 申请号： | 201420698621.7 | 申请日： | 2014-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN204211816U | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡家豪;庄立东;罗士文;张永奎;周阳 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种镀膜装置，其至少包括一支撑架、多个放置并固定晶片的载盘，其特征在于：所述支撑架上设置多条轨道，轨道端部置有固定件，所述载盘边缘与轨道吻合，通过固定件固定于支撑架形成伞状载体；所述载盘包括放置晶片的晶片固定区和固定晶片的抽真空装置。利用上述镀膜装置可降低人工操作对晶片的污染，减少上下晶片的操作时间，同时可拆卸式载盘便于存放和转移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种镀膜装置，其至少包括一支撑架、多个放置并固定晶片的载盘，其特征在于：所述支撑架上设置多条轨道，轨道端部置有固定件，所述载盘边缘与轨道吻合，通过固定件固定于支撑架形成伞状载体；所述载盘包括晶片固定区和抽真空装置。
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