[实用新型]一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置

摘要

本实用新型公开了一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置，包括底座，底座上设有样品台，样品台上端均匀设有若干固定架，固定架上端设有扫描探头，扫描探头内部设有与探针相匹配的探针架，样品台设置于探针架的前端，样品台内部设有可进行三维移动的样品移动装置，样品移动装置内设有扫描器，扫描器设置连接有位于样品移动装置内的Z向移动导轨，样品移动装置设有控制装置。本实用新型的有益效果为：结构简单，容易操作，通过将扫描探头与样品台的结构一体化，使得两者之间结构回路缩短，有效降低了探针与样品之间的机械噪音，提高了仪器的精度和抗干扰性；另外在样品趋近时，样品能够完全垂直的接近探针，实现了对样品扫描区域的精确定位。

主权项

一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置，包括底座（9），其特征在于，所述底座（9）上设有样品台（3），所述样品台（3）上端均匀设有若干固定架（2），所述固定架（2）上端设有扫描探头（1），所述扫描探头（1）内部设有与探针相匹配的探针架（8），所述样品台（3）设置于所述探针架（8）的前端，并且所述样品台（3）内部设有可进行三维移动的样品移动装置（4），所述样品移动装置（4）内设有扫描器（5），所述扫描器（5）连接有位于所述样品移动装置（4）内部的Z向移动导轨（6），并且所述样品移动装置（4）还设有相匹配的控制装置。