[实用新型]一种改进的石墨舟

摘要

本实用新型公开了一种改进的石墨舟，包括多片并列的石墨舟片，石墨舟片由陶瓷环和石墨棒连接构成舟体，多根陶瓷环垂直连接在石墨舟片间并在石墨舟片上排列成上下两层，两块相邻的石墨舟片和两根相邻的陶瓷环间构成硅片存放空间，相邻两片石墨舟片间的陶瓷环中间段为圆柱形，陶瓷环两端为圆台形，陶瓷环中间为中空结构。本实用新型通过减小陶瓷环两端部分的外径，从而增加相对的两个陶瓷环的外壁之间的距离，以扩大操作员工插卸硅片时硅片的可通过通道的宽度，从而达到减少硅片与陶瓷环碰撞的几率。

主权项

一种改进的石墨舟，包括多片并列的石墨舟片（1），石墨舟片（1）由陶瓷环（2）和石墨棒（3）连接构成舟体，其特征在于，多根陶瓷环（2）垂直连接在石墨舟片（1）间并在石墨舟片（1）上排列成上下两层，两块相邻的石墨舟片（1）和两根相邻的陶瓷环（2）间构成硅片存放空间，相邻两片石墨舟片间的陶瓷环（2）中间段为圆柱形，陶瓷环（2）两端为圆台形，陶瓷环（2）中间为中空结构。