[实用新型]晶体生长炉自动供气装置有效
申请号: | 201420716297.7 | 申请日: | 2014-11-26 |
公开(公告)号: | CN204237895U | 公开(公告)日: | 2015-04-01 |
发明(设计)人: | 文典清 | 申请(专利权)人: | 山东萨菲尔晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 255300 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 晶体生长炉自动供气装置,属于晶体生长炉的加料装置领域。其特征在于:氢气总管和氧气总管通过总气阀控制开关,在氢气总管和氧气总管上分别设置氢气总管气压表和氧气总管气压表;在氢气分管和氧气分管上分别设置氢气分管气压表和氧气分管气压表;还包括混料器和燃烧器,每个氢气分管一端连接氢气总管,另一端连接混料器,混料器上端连接氧化铝供料器,混料器下端连接燃烧器;每个氧气分管一端连接氧气总管,另一端连接燃烧器;在每个氢气分管和氧气分管上均设置流量调节器。本实用新型流量的调节结构简单巧妙,毋需耗费能源即可达到稳流的目的,科学合理,经济实用。 | ||
搜索关键词: | 晶体生长 自动 供气 装置 | ||
【主权项】:
晶体生长炉自动供气装置,其特征在于:包括氢气供气管和氧气供气管,氢气供气管包括氢气总管和氢气分管,一个氢气总管连接若干个氢气分管;氧气供气管包括氧气总管和氧气分管,一个氧气总管连接若干个氧气分管;氢气总管和氧气总管通过总气阀控制开关,在氢气总管和氧气总管上分别设置氢气总管气压表和氧气总管气压表;在氢气分管和氧气分管上分别设置氢气分管气压表和氧气分管气压表;还包括混料器和燃烧器,每个氢气分管一端连接氢气总管,另一端连接混料器,混料器上端连接氧化铝供料器,混料器下端连接燃烧器;每个氧气分管一端连接氧气总管,另一端连接燃烧器;在每个氢气分管和氧气分管上均设置流量调节器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东萨菲尔晶体科技有限公司,未经山东萨菲尔晶体科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201420716297.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。